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1200度單溫區PECVD系統

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詳細技術參數

TL1200-PECVD系統

TL1200 管式爐	型號	TL1200-PECVD-I	TL1200- PECVD-II		TL1200-PECVD-III	TL1200-PECVD-IV
	功率	3.5KW	3.5KW		3.5KW	5KW
	爐管尺寸	高純石英管:60/80/100/150*1200mm(管徑可選）兩邊各放置一個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
	外形尺寸（LXDXH）	2000X700X1300	2000X700X1300		2000X700X1300	2000X700X1360
	電源電壓	220V
	相數	單相
	加熱元件	進口瑞典Canthal A1 電阻絲點擊進入資料下載
	控制方式	采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能（更換進口儀表，需要另外付費，選購） FP93控溫儀表歐陸儀表觸摸屏儀表（日本島電）
	控溫模式	智能PID
	斷偶保護和顯示	有
	過溫保護	有
	過流保護	有
	控制精度	+/- 1 ℃
	觸發器	移相觸發
	電器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德國西門康
	最高溫度	1200 ℃
	額定溫度	1100 ℃
	升溫速率	≤20 ℃/ Min （可根據要求修改）
	推薦升溫速率	≤10℃/ Min
	熱電偶型號	K 型
	加熱段長度	440mm
	恒溫區	150mm
	溫場曲線
	溫度校準	定期對管式爐進行溫度校準，可保持爐溫的準確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準工具，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括標準熱電偶，溫度校準儀，補償導線
	電器認證
	四周表面溫度	≤45℃
	閥門和法蘭
	射頻電源（等離子體發生器）	功率輸出范圍	0-500W
		最大反射功率	200W
		工作頻率	射頻：13.56MHZ±0.005%
		功率穩定度	+/-0.1%
		諧波分量	≤-50dbc
		射頻區域寬度	0-600mm 可調
		匹配方式	自動
		冷卻方式	分冷
		噪聲	<50dB
		射頻接口	50Ω N-type
		輸入電源	208-240V 50/60HZ
GX供氣系統主要參數	質量流量計	量程和氣體	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）
		耐壓	3MP
		流量控制精度	±1.0%F.S
		最大工作（使用）壓力	0.3MPa
		線性	±0.5%F.S.
		重復精度	±0.2% F.S
	路數	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
	系統工作壓力范圍	0.1~0.5 MPa
	工作溫度	5-45℃
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	靜態混氣室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 / 1/4”
VS-0.1抽氣系統方案一或方案二任選一個	電源	220V
	尺寸	650X650X600 / 650X650X300
	波紋管	KF25X1000mm
	用該系統抽爐管真空度可達	10 ^-1Pa
	真空擋板閥	KF25
	VRD-8真空泵（方案一）	型號		VRD-8
		極限分壓強		5X10^-2Pa
		進排氣接口		KF25
		電機轉速		1440RPM
		抽氣速率		2.2L/S
		電機功率		0.4KW
	Preiffer ACP15無油多級羅茨泵方案二	型號		ACP15
		電源		AC100-240 50/60HZ
		功率		450W
		重量		25KG
		最高氦氣漏率		5 · 10-8 Pa m3/s
		抽氣速率		14 m3/h
		極限壓強		0.02Torr
		進、排氣接口		KF25
	電阻真空計（方案一）	型號		ZDR-1
		功率		25W
		真空度測量范圍		0.1-10 ⁵Pa
		電阻硅		ZJ-52T
	瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計（方案二）	型號		PCG554
		輸入電壓		24V 1A DC（配有220V變壓器）
		真空計接口		KF16
		數字顯示		數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr
		產品尺寸		46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
		重量		5 lbs
		檢測氣體		可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。
		是否防腐		防腐
		響應時間		≤30ms
		測量范圍		3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵機組（選購）（方案一或方案二任選一個）	機組輸入電壓	380V /220V
	波紋管	KF40X1000
	真空擋板閥	KF40
	機箱尺寸	600X600X600
	分子泵（方案一）	分子泵型號		FJ620
		輸入電壓		380V
		分子泵進氣口法蘭		DN160
		分子泵抽氣速率L/S（對空氣）		600
		分子泵極限壓強（Pa)		6×10^-7
		冷卻方式		水冷
		冷卻水壓（MPa）		0.1-0.2
		冷卻水溫度		<25℃
		環境溫度		0~40℃
		建議啟東壓強		<100pa
	分子泵前級真空TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級泵) （方案二）	功率		0.75KW
		電壓		380V
		轉速		1450rpm
		進氣口徑		KF25/KF40
		前機泵抽氣速率（L/S）		6
		極限壓強		4X10 ^-2Pa
	德國Pfeiffer真空泵（方案二）	電壓		220V
		功率		110W
		抽氣接口		KF40
		重量		150KG
		前機泵抽速		0.9m ³/ h
		抽氣速率（N2）		33L/S
	復合真空計	復合真空計型號		ZDF
		電源		220V 55W
		控制精度		± 1%
		真空計測量范圍		10^-5-10 ⁵Pa

質保期

一年保修，終身技術支持

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

注意事項

1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa

3.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當

4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊

5.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

TL1200-PECVD系統，由TL1200真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。

主要特點：

1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

5、廣泛應用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

這款TL1200-PECVD系統以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10^-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

Kanthal A1 原絲國產電阻絲爐膛 VS 進口電阻絲爐膛

(1)、表面溫度高可達1420℃

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站：www.kanthal.com

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

大部分廠家使用的首鋼生產的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲 Kanthal A1 電阻絲電阻均勻、發熱量均衡

有時候電阻不均衡、一部分發熱量大一部分發熱量小溫場效果好

2、安裝有空氣開關和漏電保護器：

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出

4、爐膛

1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱，溫場更加均衡

5、可選UL認證電氣板（全部通過UL認證的進口電器）

6、認證

7、法蘭

鉸鏈式法蘭（選購）可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購）水冷法蘭（選購）

描敘	數量	圖片
TL1200管式爐	1 套
石英管	1根
不銹鋼法蘭	1 套
不銹鋼爐鉤	1 個
氧化鋁爐塞	1對
高溫手套	1 雙
氧化鋁坩堝	1 個
Ｋ型熱電偶	1個
485轉換接口和軟件（選配）	1 套
說明書	1本
法蘭支撐架	1 份
供氣系統	1臺
VS-0.1抽氣系統	1臺
射頻電源	1臺
卡套	4個
波紋管	1支
真空擋板閥	1個
鋼瓶接頭（N代表路數）	N個
閥門接頭	2個
聚四氟乙烯管(N代表路數)	NX5