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1200度三溫區可調真空CVD系統

技術參數
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詳細技術參數

TL1200-1200-1200 管式爐	型號	TL1200-1200-1200-PECVD-I	TL1200- 1200-1200-PECVD-II		TL1200-1200-1200-PECVD-III	TL1200-1200-1200-PECVD-IV
	功率	4.5KW	4.5KW		6KW	6KW
	爐管尺寸（mm）	高純石英管:60/80/100/120*1200mm(管徑可選）兩邊各放置一個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
	外形尺（LXDXH）	1700X700X1400	1700X700X1400		1700X700X1400	1700X700X1450
	電源電壓	220V
	相數	單相
	加熱元件	國產優質電阻絲（可選配進口瑞典Canthal A1 電阻絲）點擊進入資料下載
	控制方式	采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能（更換進口儀表，需要另外付費，選購） FP93控溫儀表歐陸儀表觸摸屏儀表（日本島電）
	控溫模式	智能PID
	斷偶保護和顯示	有
	過溫保護	有
	過流保護	有
	控制精度	+/- 1 ℃
	觸發器	移相觸發
	電器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德國西門康
	最高溫度	溫區一：1200 ℃ 溫區二：1200 ℃ 溫區三：1200 ℃
	額定溫度	溫區一：1100 ℃ 溫區二：1100 ℃ 溫區三：1100 ℃
	升溫速率	≤35 ℃/ Min （可根據要求修改）
	推薦升溫速率	≤15℃/ Min
	熱電偶型號	溫區一：K 型溫區二：K型溫區三：K型
	加熱段長度	溫區一：200mm 溫區二：200 mm 溫區三：200 mm
	電器認證
	四周表面溫度	≤45℃
	閥門和法蘭
GX供氣系統主要參數	質量流量計	量程和氣體	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）
		耐壓	3MP
		流量控制精度	±1.0%F.S
		最大工作（使用）壓力	0.3MPa
		線性	±0.5%F.S.
		重復精度	±0.2% F.S
	路數	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
	系統工作壓力范圍	0.1~0.5 MPa
	工作溫度	5-45℃
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	靜態混氣室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 / 1/4”
VS-0.1抽氣系統方案一或方案二任選一個	電源	220V
	尺寸	650X650X600 / 650X650X300
	波紋管	KF25X1000mm
	用該系統抽爐管真空度可達	10 ^-1Pa
	真空擋板閥	KF25
	VRD-8真空泵方案一	型號		VRD-8
		極限分壓強		5X10^-2Pa
		進排氣接口		KF25
		電機轉速		1440RPM
		抽氣速率		2.2L/S
		電機功率		0.4KW
	Preiffer ACP15無油多級羅茨泵方案二	型號		ACP15
		電源		AC100-240 50/60HZ
		功率		450W
		重量		25KG
		最高氦氣漏率		5 · 10-8 Pa m3/s
		抽氣速率		14 m3/h
		極限壓強		0.02Torr
		進、排氣接口		KF25
	電阻真空計（方案一）	型號		ZDR-1
		功率		25W
		真空度測量范圍		0.1-10 ⁵Pa
		電阻硅		ZJ-52T
	瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空（方案二）	型號		PCG554
		輸入電壓		24V 1A DC（配有220V變壓器）
		真空計接口		KF16
		數字顯示		數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr
		產品尺寸		46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
		重量		5 lbs
		檢測氣體		可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。
		是否防腐		防腐
		響應時間		≤30ms
		測量范圍		3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵機組（選購）（方案一或方案二任選一個）	機組輸入電壓	380V /220V
	波紋管	KF40X1000
	真空擋板閥	KF40
	機箱尺寸	600X600X600
	分子泵（方案一）	分子泵型號		FJ620
		輸入電壓		380V
		分子泵進氣口法蘭		DN160
		分子泵抽氣速率L/S（對空氣）		600
		分子泵極限壓強（Pa)		6×10^-7
		冷卻方式		水冷
		冷卻水壓（MPa）		0.1-0.2
		冷卻水溫度		<25℃
		環境溫度		0~40℃
		建議啟東壓強		<100pa
	分子泵前級真空TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級泵) （方案二）	功率		0.75KW
		電壓		380V
		轉速		1450rpm
		進氣口徑		KF25/KF40
		前機泵抽氣速率（L/S）		6
		極限壓強		4X10 ^-2Pa
	德國Pfeiffer真空泵（方案二）	電壓		220V
		功率		110W
		抽氣接口		KF40
		重量		150KG
		前機泵抽速		0.9m ³/ h
		抽氣速率（N2）		33L/S
	復合真空計	復合真空計型號		ZDF
		電源		220V 55W
		控制精度		± 1%
		真空計測量范圍		10^-5-10 ⁵Pa

質保期

一年保修，終身技術支持

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

注意事項

1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa

3.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當

4.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統，最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10^-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

這款CVD系統是由4路供氣系統+TL1200-1200-1200三溫區管式爐+可調真空系統組成。

這款管式爐以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品.。

軟件控制系統：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。（選配）

1、電阻絲爐膛

(1)、使用真空吸附成型工藝，將加熱元件嵌入固定在耐火材料內，是集發熱和隔熱的為一體的電熱模塊單元

(2)、使用溫度高達1250度，具有卓越的加熱效果和熱穩定性

(3)、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

(4)、采用4周加熱，溫場更加均衡

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

大電阻均勻、發熱量均衡

溫場效果好

2、安裝有空氣開關和漏電保護器：

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。

、

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出

5、可選UL認證電氣板（全部通過UL認證的進口電器）

6、不銹鋼支撐架

7、認證

8、法蘭

鉸鏈式法蘭（選購）可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購）水冷法蘭（選購）

描敘	數量	圖片
TL1200-1200-1200管式爐	1 套
石英管	1根
不銹鋼法蘭	1 套
不銹鋼爐鉤	1 個
氧化鋁爐塞	1對
高溫手套	1 雙
氧化鋁坩堝	1 個
Ｋ型熱電偶	3個
485轉換接口和軟件（選配）	1 套
說明書	1本
法蘭支撐架	1 份
供氣系統	1臺
抽氣系統	1臺
卡套	4個
波紋管	1支
真空擋板閥	1個
鋼瓶接頭（N代表路數）	N個
閥門接頭	2
聚四氟乙烯管(N代表路數)	NX5