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1200度單溫區四通道可調真空滑動管式爐

技術參數
詳細描述
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標準配置
選配件

主要技術參數

TL1200雙管管式爐	型號	TL1200-D-C-I		TL1200-D-C-II
	功率	3.5KW		3.5KW
	爐管尺寸(mm)	Dia（ID73） 80 X1500		Dia 100(ID93) X1500
	外形尺寸（LXDXH）	1800X700X1500		1800X700X1500
	電源電壓	220V
	相數	單相
	加熱元件	國產優質電阻絲（可選配Kanthal A1進口電阻絲）點擊進入資料下載
	控制方式	采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能（更換進口儀表，需要另外付費，選購） FP93控溫儀表歐陸儀表觸摸屏儀表（日本島電）
	控溫模式	智能PID
	斷偶保護和顯示	有
	過溫保護	有
	過流保護	有
	控制精度	+/- 1 ℃
	觸發器	移相觸發
	電器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德國西門康
	最高溫度	1200 ℃
	額定溫度	1100 ℃
	升溫速率	≤30 ℃/ Min （可根據要求修改）
	推薦升溫速率	≤15℃/ Min
	熱電偶型號	K 型
	加熱段長度	400mm
	溫場曲線
	溫度校準（選配）	定期對管式爐進行溫度校準，可保持爐溫的準確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準工具，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括標準熱電偶，溫度校準儀，補償導線
	電器認證
	四周表面溫度	≤45℃
	閥門和法蘭
GX供氣系統主要參數	流量控制和檢測采用 D07-7C 質量流量計	采用質子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）
		3MP
		±1.5%
		<0.01mpa< p="">
		±0.2% F.S
	路數	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
	系統工作壓力范圍	0.1~0.5 MPa
	工作溫度	5-45℃
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	靜態混氣室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 1/4”
VS-0.1抽氣系統	電源	220V
	尺寸	600X600X600
	波紋管	KF25X1000mm
	用該系統抽爐管真空度可達	10 ^-1Pa
	真空擋板閥	KF25
	VRD-8真空泵	型號	VRD-8
		極限分壓強	5X10^-2Pa
		進排氣接口	KF25
		電機轉速	1440RPM
		抽氣速率	2.2L/S
		電機功率	0.4KW
	Perfeer ACP15 無油多級羅茨泵（方案二）	型號	ACP15
		電源	AC100~240V 50/60HZ
		功率	450W
		抽、排氣接口	KF25
		重量	25KG
		最大氦氣漏率	5 · 10-8 Pa m3/s
		極限真空度	0.02 Torr
		抽氣速率	14 m3/h
	電阻真空計	型號	ZDR-1
		功率	25W
		真空度測量范圍	0.1-10 ⁵Pa
		電阻硅	ZJ-52T
	瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計（選購）	型號	PCG554
		輸入電壓	24V 1A DC（配有220V變壓器）
		真空計接口	KF16
		數字顯示	數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr
		產品尺寸	46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
		重量	5 lbs
		檢測氣體	可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。
		是否防腐	防腐
		響應時間	≤30ms
		測量范圍	3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵機組（選購）	機組輸入電壓	380V /220V
	波紋管	KF40X1000
	真空擋板閥	KF40
	機箱尺寸	600X600X600
	分子泵（方案一）	分子泵型號	FJ620
		輸入電壓	380V
		分子泵進氣口法蘭	DN160
		分子泵抽氣速率L/S（對空氣）	600
		分子泵極限壓強（Pa)	6×10^-7
		冷卻方式	水冷
		冷卻水壓（MPa）	0.1-0.2
		冷卻水溫度	<25℃< p="">
		環境溫度	0~40℃
		建議啟東壓強	<100pa< p="">
	前機真空泵RVP-6 （方案一）	功率	0.75KW
		電壓	380V
		轉速	1450rpm
		進氣口徑	KF25/KF40
		前機泵抽氣速率（L/S）	6
		極限壓強	4X10 ^-2Pa
	德國Pfeiffer真空泵（方案二）	電壓	220V
		功率	110W
		極限真空度（在無泄露時）
		抽氣接口	KF40
		重量	150KG
		前機泵抽速	0.9m ³/ h
		抽氣速率（N2）	33L/S
	復合真空計	復合真空計型號	ZDF
		電源	220V 55W
		控制精度	± 1%
		真空計測量范圍	10^-5-10 ⁵Pa

質保期

一年保修，終身技術支持

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

注意事項

1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa

3.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當

4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊

5.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

CVD系統由供氣系統+雙管管式爐+抽氣系統，最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10^-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

這款CVD系統是由3路供氣系統+TL1200雙管管式爐+低真空系統組成

滑動式雙管爐是一種特殊的CVD系統，是專門為在金屬箔（像銅箔、鋁箔等）上生長薄膜而設計，廣泛應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究上，特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。這款雙管式爐以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。

雙管管式爐爐底安裝一對滑軌，可用手推滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/min。為取得最快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

Kanthal A1 原絲進口電阻絲爐膛

(1)、表面溫度高可達1420℃

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站：www.kanthal.com

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

Kanthal A1 電阻絲電阻均勻、發熱量均衡

溫場效果好

2、安裝有空氣開關和漏電保護器：

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。

、

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出

4、爐膛

1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱，溫場更加均衡

5、可選UL認證電氣板（全部通過UL認證的進口電器）

6、認證

7、法蘭

鉸鏈式法蘭（選購）可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購）水冷法蘭（選購）

可調真空：通過調節真空擋板閥閥門開關和用微電腦調節真空泵電機的轉速來實現雙管管式爐內真空度在10-10000Pa之間某一范圍內恒定。

描述	數量	圖片
TL1200雙管管式爐	1 臺
石英管 Dia80X1500	1 根
內石英管	1 根
不銹鋼雙管法蘭	1 對
不銹鋼爐鉤	1根
氧化鋁爐塞	3對
高溫手套	1 雙
氧化鋁坩堝	1 個
COM轉USB接口（選購軟件系統時標配）	1 付
說明書	1 份
軟件（選購軟件系統時標配）	1 份