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1200度原子層氣相沉積系統

技術參數
詳細描述
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標準配置
選配件

型號		ALD-TL1200-1200-H-C-I			ALD-TL1200-1200-H-C-II	ALD-TL1200-1200-H-C-III
TL1200 管式爐	功率	4KW			4KW	4KW
		石英管:60/80/100*1500mm(管徑可選）兩邊各放置一個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
	外形尺（LXDXH）	1500X450X600			1500X450X600	1500X510X650
	電源電壓	220V
	相數	單相
	加熱元件	國產優質電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲）點擊進入資料下載
	控制方式	采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護斷偶保護，過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能（更換進口儀表，需要另外付費，選購） FP93控溫儀表（日本島電）歐陸儀表觸摸屏儀表
	控溫模式	智能PID
	斷偶保護和顯示	有
	過溫保護	有
	過流保護	有
	控制精度	+/- 1 ℃
	觸發器	移相觸發
	電器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德國西門康
	最高溫度	溫區一：1200 ℃ 溫區二：1200 ℃
	額定溫度	溫區一：1100 ℃ 溫區二：1100 ℃
	升溫速率	≤30 ℃/ Min （可根據要求修改）
	推薦升溫速率	≤15℃/ Min
	熱電偶型號	溫區一：K 型溫區二：K型
	加熱段長度	溫區一：200mm 溫區二：200 mm
	溫場曲線
	電器認證
	四周表面溫度	≤45℃
	法蘭和閥門
GX供氣系統主要參數	D07-7C 質量流量計	量程和氣體	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）
		耐壓	3MP
		流量控制精度	±1.0%F.S
		最大工作（使用）壓力	0.3MPa
		線性	±0.5%F.S.
		重復精度	±0.2% F.S
	路數	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
	系統工作壓力范圍	0.1~0.5 MPa
	工作溫度	5-45℃
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	靜態混氣室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 / 1/4”
VS-0.1抽氣系統方案一或方案二任選一個	電源	220V
	尺寸	650X650X600 / 650X650X300
	波紋管	KF25X1000mm
	用該系統抽爐管真空度可達	10 -1Pa
	真空擋板閥	KF25
	VRD-16真空泵（方案一）	型號		VRD-8
		極限分壓強		5X10-2 Pa
		進排氣接口		KF25
		電機轉速		1440RPM
		抽氣速率		2.2L/S
		電機功率		0.4KW
	瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計（方案二）	型號		PCG554
		輸入電壓		24V 1A DC（配有220V變壓器）
		真空計接口		KF16
		數字顯示		數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr
		產品尺寸		46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
		重量		5 lbs
		檢測氣體		可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。
		是否防腐		防腐
		響應時間		≤30ms
		測量范圍		3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵機組（選購）（方案一或方案二任選一個）	機組輸入電壓	380V /220V
	波紋管	KF40X1000
	真空擋板閥	KF40
	機箱尺寸	600X600X600
	分子泵（方案一）	分子泵型號		FJ620
		輸入電壓		380V
		分子泵進氣口法蘭		DN160
		分子泵抽氣速率L/S（對空氣）		600
		分子泵極限壓強（Pa)		6×10-7
		冷卻方式		水冷
		冷卻水壓（MPa）		0.1-0.2
		冷卻水溫度		<25℃
		環境溫度		0~40℃
		建議啟動壓強		<10pa
	分子泵前級真空泵TRP-24 （方案二）	功率		0.75KW
		電壓		380V
		轉速		1450rpm
		進氣口徑		KF25/KF40
		前機泵抽氣速率（L/S）		6
		極限壓強		4X10 -2Pa
	德國Pfeiffer真空泵（方案二）	電壓		220V
		功率		110W
		抽氣接口		KF40
		重量		150KG
		前機泵抽速		0.9m 3/ h
		抽氣速率（N2）		33L/S
	復合真空計	復合真空計型號		ZDF
		電源		220V 55W
		控制精度		± 1%
		真空計測量范圍		10-5 -10 5 Pa

ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統由滑動管式爐、石英真空室、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統和ALD系統組成。

這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，過零觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10^-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。

開蓋保護系統：該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

Kanthal A1 原絲進口電阻絲爐膛

(1)、表面溫度高可達1420℃

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站：www.kanthal.com

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

Kanthal A1 電阻絲電阻均勻、發熱量均衡

溫場效果好

2、安裝有空氣開關和漏電保護器：

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。

、

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出

4、爐膛

1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱，溫場更加均衡

5、可選UL認證電氣板（全部通過UL認證的進口電器）

6、認證

7、法蘭

鉸鏈式法蘭（選購）可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購）水冷法蘭（選購）

描敘	數量	圖片
TL1200-1200 雙溫區滑動管式爐	1 臺
石英管	1根
不銹鋼法蘭	1 套
不銹鋼爐鉤	1 根
氧化鋁爐塞	3個
高溫手套	1 對
氧化鋁坩堝	1 個
COM轉USB接口	1 套
說明書	1 份
軟件	1份

供氣系統	質子流量計供氣系統
	浮子流量計供氣系統
抽氣系統	真空泵	2XZ-2
		TW-1.5A
		FX-16
	德國普發分子泵
電阻真空計	電阻真空計
	復合真空計
波紋管	KF25
	KF40
真空擋板閥	KF25
	KF40
KF卡套	KF25
	KF40
KF三通	KF25