VS-0.1真空恒壓系統
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電源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統抽爐管真空度可達 |
10Pa |
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真空擋板閥 |
KF16 |
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壓力恒定范圍 |
1000Pa ~ 20000Pa |
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壓力控制精確度 |
+/-0.1KPa |
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壓力控制方式 |
自動控制 |
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型號 |
FX16(2XZ-4B) |
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極限分壓強氣鎮關 |
4X10-2Pa |
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進排氣接口 |
KF25 |
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電機轉速 |
1420r/min |
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水蒸氣抽速率 |
500L/h |
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電機功率 |
0.55KW |
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德國Preiffer ACP15 無油多級羅茨泵 |
型號 |
Preiffer ACP15 |
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電源 |
100-220V 550W 50/60HZ |
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抽氣接口 |
KF25 |
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最大抽速 |
3.8L/S |
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極限真空度(Torr) |
2.2X10 |
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最大漏率 |
< 5X10 |
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重量 |
23KG |
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壓力傳感器 |
最小測量單位 |
0.1KPa |
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測壓范圍 |
1000-20000Pa |
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對應輸出信號 |
4~20mA |
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接口規格 |
KF16 |
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一、 概述
該系統（能把管式爐內的真空度抽到0.1Pa）由帶KF25接口的抽氣法蘭（自制）、高真空擋板法（中科科儀）、電阻真空計、波紋管（中科科儀）、支架（自制）、真空泵、變速器和真空控制器組成。可以使管式爐爐管內壓力在0.1-100KPa范圍內任意值恒定，您給定一個值，系統會自動讓壓力恒定在該值，并且沒有任何波動。該設備廣泛的應用于石墨烯的生長、MOS2生長和需要恒定負壓的二維材料的生長，并可配套于MOCVD系統。
二、工作原理：
通過真空泵變速器和真空控制器來控制抽氣量的大小，而從使管式爐管內壓力控制在一個恒定值。
三、詳細參數：
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電源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統抽爐管真空度可達 |
10Pa |
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真空擋板閥 |
KF16 |
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壓力恒定范圍 |
0.1KPa ~ 100 KPa |
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壓力控制精確度 |
+/-0.1KPa |
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壓力控制方式 |
自動控制 |
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型號 |
FX16(2XZ-4B) |
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極限分壓強氣鎮關 |
4X10-2Pa |
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進排氣接口 |
KF25 |
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電機轉速 |
1420r/min |
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水蒸氣抽速率 |
500L/h |
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電機功率 |
0.55KW |
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德國Preiffer ACP15 無油多級羅茨泵 |
型號 |
Preiffer ACP15 |
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電源 |
100-220V 550W 50/60HZ |
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抽氣接口 |
KF25 |
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最大抽速 |
3.8L/S |
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極限真空度(Torr) |
2.2X10 |
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最大漏率 |
< 5X10 |
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重量 |
23KG |
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壓力傳感器 |
最小測量單位 |
0.1KPa |
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測壓范圍 |
0-100.0KPa |
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對應輸出信號 |
4~20mA |
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接口規格 |
KF16 |
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