2100℃鎢絲定向凝固爐
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鎢 絲 定 向 凝 固 爐 |
型號 | VWF-25-21-D | |
| 優點 |
1、外形緊湊，占地面積小 2、溫度高，最高溫度可到2100℃ 3、腔體潔凈，可生長出高純度的單晶 4、進口歐陸控溫儀表，控溫精度±0.1℃ 5、真空度高，配分子泵，真空度5×10-4Pa 6、操作簡單，設備帶有一塊7寸觸摸屏，可在觸摸屏中設置工藝，簡單便捷 |
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| 原理 |
物料在加熱區熔化后，升降機構帶動坩堝勻速下降，坩堝通過一個均勻下降的溫度梯度場，熔融的物料晶格按照一定的順序重新排列結晶，形成有序的晶體 |
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| 最高溫度 | 2100℃ | ||
| 加熱原件 | 高純鎢網 | ||
| 有效工作尺寸 | Dia60X80mm | ||
| 保溫方式 | 鎢、鉬、不銹鋼隔熱屏 | ||
| 控溫模式 | 進口歐陸儀表智能PID 500段程序控溫 | ||
| 升降機構 |
升降速度：0.1-2000μm/s 升降行程：0-100mm （可根據客戶需要定制） 轉速：0-40RPM |
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| 腔體真空度（分子泵機組） | < 5X0 -4Pa （空爐、冷態） | ||
| 工作真空度 | < X10 -3Pa （空爐） | ||
| 腔體充氣壓力 | 0.05MPa | ||
| 升壓率 | <4Pa/小時 | ||
| 斷偶保護和顯示 | 有 | ||
| 過溫保護 | 有 | ||
| 過流保護 | 有 | ||
| 欠壓保護（水壓） | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1 ℃（600度以上） | ||
| 溫度檢測方式 | 鎢套管鎢錸熱電偶 | ||
| 最大升溫速率 | < 20度/Min | ||
| 真空腔體內是否水冷 | 是 | ||
| 冷水機（選配） | 5P | ||
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真 空 機 組 |
機組輸入電壓 | 380V /220V | |
| 波紋管 | KF40X1000 | ||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||
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分子泵
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分子泵型號 | FJ620C | |
| 輸入電壓 | 220V | ||
| 分子泵進氣口法蘭 | DN160 | ||
| 分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||
| 分子泵極限壓強（Pa) | 6×10-7 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | ||
| 環境溫度 | 0~40℃ | ||
| 建議啟動壓強 | <10pa | ||
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前級真空泵BSV-30
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功率 | 0.75KW | |
| 電壓 | 380V | ||
| 轉速 | 1450rpm | ||
| 進氣口徑 | KF25/KF40 | ||
| 前機泵抽氣速率（L/S） | 8 | ||
| 極限壓強 | 4X10 -2Pa | ||
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復合真空計
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復合真空計型號 | ZDF | |
| 電源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||
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冷水機（選購）
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型號 |
HZ-05A |
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| 電源 |
3PH-380V/50HZ |
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| 輸入總功率 | 5.9KW | ||
| 制冷量 |
11696kcal/h |
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| 水箱容量 | 80L | ||
| 揚程 | 25M | ||
| 流量 | 4m3/h | ||
| 外形尺寸 |
1150×520×1140mm |
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| 重量 | 180Kg | ||
一、設備特點及主要用途
1、基本原理與用途：在真空或氣氛保護情況下熔融原料，然后勻速下降坩堝，物料在一個均勻下降的溫度梯度場內重結晶，晶格按照一定的順序重新排列，形成有序的晶體。本設備為周期作業式，按照用戶要求定制。
二、結構組成
爐體、爐蓋、爐底、真空系統、控制系統、冷卻系統、升降機構、發熱體及隔熱屏等。
三、結構說明
1、爐體：為立式爐殼，其內、外層均為304不銹鋼做成的圓筒，外層鏡面拋光處理。內外筒與前后法蘭焊成一個整體，爐體開有電極孔、抽氣孔、放氣孔、熱電偶孔、紅外孔及觀察孔等，各接口的材質均為不銹鋼。
2、爐蓋：由內外封頭和法蘭焊成，中間可通水冷卻，爐蓋開啟裝置。
3、爐底：由內外封頭和法蘭組成，中間通水冷卻，下部設有充放氣孔，固定在爐體下部，設有電極引出裝置。
4、升降機構：升降機構由電機、PLC、液晶屏組成。
5、發熱體及隔熱屏：發熱元件采用高純鎢制作成網狀，有效增加輻射面積，保證溫區的均勻性。隔熱屏采用4層鎢板，6層鉬板，最外層采用不銹鋼板支撐。
6、真空系統：
（1）主要由直聯泵、分子泵，氣動擋板閥、電磁截止閥、數顯復合真空計、真空管路、放氣閥、支架等組成；真空管道與泵之間采用金屬波紋軟管快速接頭聯接（減緩震動）。
（2）真空主抽泵直聯泵（北儀優成）、分子泵（北京科儀）。
（3）氣動擋板閥（川北科技）GDQ-150 1臺 GDQ-J40 2臺
（4）成都正華數顯真空計1臺。
（5）真空管路1套，由波紋管、三通管、真空泵、兩個40的真空擋板閥、接口彎管等組成（波紋管內Φ40，三通管為40標準尺寸）。
7、控制系統：
采用英國歐陸儀表具有多項功能（3204）
1、5X16段程序控溫，可以分成16組程序，如果分成5組程序，每條程序為20段，可以儲存多組程序、使用時可以任意調出；
2、歐陸3204具有PID控制，溫度能控制得很準確；
3、具有過溫保護、過流保護和斷偶時電爐加熱電路自動切斷等功能， ,（當電爐溫度超過2120度或熱電偶 燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有效的保護電爐）；
4、儀表有華氏度（F）和攝氏度（C）可供選擇；
5、帶有485 通訊接口，具有自動停機功能。
6、儀表精度為0.2級、液晶顯示屏、自定義畫面。
8、水冷系統：爐體、上下端蓋采用夾層水冷的結構形式，在進出水主管路上安裝水壓繼電器及壓力表，同時與控制柜連接，異常狀態時報警。能夠定性的觀察各分水路的水流大小。整個水冷系統確保各分路回水溫度不高于40℃（進水溫度20℃）。水冷系統主進直徑50mm、回水管直徑50mm（進水壓力0.4MPa）。
四、設備安裝要求
1、電力：380V，三相五線制，20KW，50Hz
2、冷卻水：
- 耗量： 5m3/h
- 水壓：1~0.4Mpa
- 進水水溫： ≤40℃
- 接口尺寸： 2寸內絲連接
3、占地面積：1200mm（長）×700mm（寬）×1600mm（高）
