2200℃晶體生長爐
詳細技術參數
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VIF晶體生長爐
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型號 |
VIF-2-LD |
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棒料尺寸 |
Φ25mm，長度400mm（也可定制其它尺寸） |
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最高加熱溫度 |
2200度 |
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高頻加熱電源
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采用電源 |
高頻感應電源 |
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振蕩頻率 |
30-80KHZ |
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最大輸入功率 |
70KW |
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加熱電流 |
15-150A |
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冷卻水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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電源重量 |
35KG |
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負載持續率 |
100% |
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輸入電壓 |
三相380V 50或60HZ |
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加熱方式 |
感應加熱 |
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腔體內直徑 |
500mm |
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腔體真空度（分子泵機組） |
< 6X10 -4Pa |
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腔體充氣壓力 |
< 0.05MPa |
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升壓率 |
<4Pa/小時 |
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斷偶保護和顯示 |
有 |
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過溫保護 |
有 |
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過流保護 |
有 |
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欠壓保護（水壓） |
有 |
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控溫模式 |
智能PID |
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控制精度 |
±1~ 5 ℃（600度以上） |
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溫度檢測方式 |
紅外測溫儀 |
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紅外測溫儀
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1、美國進口紅外測溫儀，特點1、響應時間快、高精度； 2、可24小時實時連續在線測溫、安全、耐用； 3、激光瞄準、穩定性好、尤其適合測量高溫小目標； 4、10毫秒的響應時間和±0.3%的重復性精度，保證滿足您進行快速、精確測溫的要求。 測溫范圍：1000~3200℃ |
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技術方案 |
坩堝底部帶有一個8mm的孔洞，用塞桿將洞堵住，然后在坩堝中放物料，物料被加熱充分熔化后，將塞桿拔出，熔化的液體從孔洞流出，跟隨引桿慢慢凝固下移，形成棒材 |
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真空腔體內是否可接水冷坩堝 |
可以 |
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觀察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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真空機組
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機組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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前機真空泵BSV30
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功率 |
1.1KW |
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電壓 |
380V |
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轉速 |
1450rpm |
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進氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機泵抽氣速率（L/S） |
8 |
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極限壓強 |
5X10 -1Pa |
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復合真空計 |
復合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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二級泵 為分子泵 （方案一） |
分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）
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分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強 |
<10Pa |
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二級泵為擴散泵
（方案二） |
擴散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa） |
電壓 |
220V |
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功率 |
1000W |
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極限真空度（在無泄露時） |
10E-5Pa |
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進氣接口 |
DN150 |
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出氣接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽氣速率（N2） |
1000L/S |
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水冷機（選購） HZ-03A |
電源 |
3PH-380V/50HZ |
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最大揚程 |
40M |
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最大流量 |
16L/min |
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水箱容量 |
60L |
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制冷量 |
103Kcal/h |
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出入水口 |
Rp1/2’’ |
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機器尺寸 |
1150×520×1145(長X寬X高) |
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一、設備特點
1、采用臥式爐體，側部開門結構，進出料方便，爐體結構緊湊，占地空間較小。
2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長。
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測溫儀，可以精確的測量加熱套的溫度。
6、配有分子泵，真空度可達8X10-4Pa
7、安裝有水冷機，水冷機具有欠壓和斷水報警，使用安全可靠。
8、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護并具有報警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應用于大專院校及科研單位等在真空或保護氣氛條件下晶體的生長。
二、結構說明
本產品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統、真空系統、IGBT 電源、控制系統、水冷系統、工作臺、電控系統等組成 ，爐體、氣氛控制系統、電控系統和水冷系統等組成部分都安裝在設備臺架上，使整個設備成為一體,爐架下安裝有水平調節輪、不但可以自由的拖動，并有調節水平的功能。
1、爐體：為全304不銹鋼結構，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結構，保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結構，爐蓋打開方式為手動，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設有觀察孔，方便觀察爐內情況。爐體上安裝有進出氣口、與水冷機連接的進出水口和安裝有連接爐體內澆注裝置的進出水管。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結構，爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(選購測溫元件時)：溫控系統是由測溫系統，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測溫儀，把紅外測溫儀輸出的1-5V信號通過控溫儀表轉換為溫度信號，控溫儀表可以控制感應爐的輸出功率，這樣形成一個閉合回路，可以對爐子的升溫進行編程控制，可以進行50段程序控溫，控溫精度準確，升溫速率可調，并可以進行恒溫，以方便控制澆鑄時的溫度控制。
| 名稱 | 單位 | 數量 |
| 爐體 | 臺 | 1 |
| 感應電源 | 套 | 1 |
| 紅外測溫儀 | 臺 | 1 |
| 線圈 | 個 | 1 |
| 坩堝 | 個 | 1 |
| 擴散泵 | 臺 | 1 |
| 分子泵（選配） | 臺 | 1 |
| 機械泵 | 臺 | 1 |
| 真空閥門 | 套 | 3 |
| 水冷機（選配） | 臺 | 1 |
| 觸摸屏 | 臺 | 1 |
| 溫度控制器 | 臺 | 1 |
| 旋轉電極 | 套 | 1 |
| 拉錠裝置 | 套 | 1 |
| 冷卻裝置 | 套 | 1 |
